智能閥門&閥門彈簧開啟壓力解決方案
設備工作流程說明
放置產品 → 正壓檢測 → (合格) →負壓檢測 → 顯示結果/報警
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雙工位、雙工位互不干擾、可獨立/同時測試
(對于單個工位)正負壓雙通道、雙通道氣密性互不影響
擁有數字和曲線顯示兩種方式?？梢栽O定合格判定范圍
I/O交互和232通訊
控制管路使用銅管
流量控制需要恒流量自動控制
設備關鍵參數
技術規格書參數
有效分辨率≤1pa
壓力控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):- 80 Kpa ~ +500Kpa
流量控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):±0~±200sccm
精度 0.1%F.S.
分辨率 1pa
動態恒流量控制(數控氣壓、逐步提高壓力)
在相對濕度≤85%RH的環境下正常工作
在溫度—5°C~45°C的環境下正常工作
樣品測試標準
AP31
正壓恒流 10L/h 166.6sccm 開啟壓力140kpa~160kpa G
負壓恒流3L/h 50sccm 開啟壓力0~-10kpa
流量:檢測、控制、流量和壓力的關系
EX21
正壓恒流 10L/h 開啟壓力30~40kpa
負壓恒流 3L/h 開啟壓力0~-10Kpa
G A D 101.3Kpa A 0kpaG
0kpaA -100kpaG
D針對于傳感器 2接頭 返回壓力差 ±G
設備工作參數
該樣品實際測試需要的參數(最低標準)
有效分辨率≤1pa
壓力控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):- 50 Kpa ~ +200Kpa
流量控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):±0~±200sccm
分辨率 1pa
動態恒流量控制
測試原理講解 方案一
一個傳感器用于檢測氣壓變化過程
爆裂點是一個極點
記錄氣壓的壓力降/突變
記錄后進行比較
測試原理講解 方案二
一個傳感器檢測氣壓的變化過程
一個傳感器用于檢測變化點(時間/觸發條件)
記錄氣壓曲線(二維數組/隊列/單向表)
確認開啟后再進行分析
設計測試
1.壓流關系
氣源壓力 160Kpa 4mm 流量?
2.檢測流量
流量傳感器(最大耐壓180kpa)
壓力差算流量
3.控制流量
流量變送器、比例閥(DA\PID)恒流量
逐步提升壓力(壓差)控制流量 -> 精密/高速DA輸出
傳感器選型
壓力傳感器
一個負壓MPX4250
一個正壓精度(200~300kpa以下)MS4525
一個正壓量程 MS4525SS5A100G/AP
一個精度(-80~250KpaG)NXP/TE
一個正壓量程(0~600kapG/A)
流量傳感器(暫時不考慮)